AMAT 0010-10901

产品名称：静电卡盘组件产品简介：是半导体工艺腔体中的核心部件，通过静电吸附力将晶圆固定在基座上，同时可实现晶圆的加热或冷却，保证晶圆在工艺过程中的温度均匀性和位...