AMAT 0040-01239

产品名称：工艺腔体门阀产品简介：用于控制半导体工艺腔体与真空系统、气体输送系统之间的通路开关，实现腔体的真空抽气、充气以及工艺气体的导入和排出，保障工艺腔体的压...