AMAT 0010-09068

产品名称：加热基座组件产品简介：安装在半导体工艺腔体内部，用于为晶圆提供稳定、均匀的加热环境，使晶圆在工艺过程中达到所需的反应温度，促进薄膜沉积、掺杂等工艺的进...