AMAT 0040-46381

产品名称：工艺腔体喷淋头产品简介：安装在半导体工艺腔体顶部，用于将工艺气体均匀地分布到晶圆表面，保证晶圆在工艺过程中各区域的反应均匀性，是影响薄膜沉积、蚀刻等工...