AMAT 0270-20016

产品名称：工艺腔体冷却盘管组件产品简介：这是安装在半导体工艺腔体壁、基座等部位的冷却部件，通过循环冷却水带走工艺过程中产生的热量，精准控制腔体与基座的温度，避免...