• 产品名称：工艺腔体冷却盘管组件
• 产品简介：这是安装在半导体工艺腔体壁、基座等部位的冷却部件，通过循环冷却水带走工艺过程中产生的热量，精准控制腔体与基座的温度，避免温度过高影响工艺效果与设备寿命，适配 AMAT 多款高温工艺腔体。
• 技术规格
  • 材质：316L 不锈钢，耐腐蚀，适配冷却水与工艺环境。
  • 盘管管径：8 mm，保障冷却水流速与换热效率。
  • 换热面积：根据腔体规格定制，满足不同工艺的散热需求。
  • 工作压力：最高可达 5 bar，适配冷却水系统压力。
  • 工作温度：-20℃至 150℃，适应工艺腔体的温度环境。
  • 泄漏率：≤10^-9 atm・cm³/s，密封性能优异，防止冷却水泄漏。
• 功能特点
  • 换热效率高，可快速导出腔体热量，控制腔体温度波动在 ±1℃内。
  • 盘管布局合理，贴合腔体壁与基座，保障温度分布均匀。
  • 具备良好的耐腐蚀性，可长期适配工业冷却水，无锈蚀堵塞问题。
  • 安装牢固，抗振动能力强，在设备运行过程中无松动泄漏风险。
• 应用场景：用于 AMAT 的快速热处理、化学气相沉积等高温工艺设备，适配 200mm 和 300mm 晶圆工艺腔体的冷却需求，保障工艺温度的精准控制。