• 产品名称：门阀位置反馈传感器
• 产品简介：这是一款适配半导体设备真空门阀、气体门阀的高精度位置检测部件，用于实时监测门阀的开关位置，将位置信号转换为电信号传输给设备控制系统，保障门阀开关到位，适配 AMAT 的真空与气体控制系统。
• 技术规格
  • 检测类型：磁阻式位移检测，非接触式测量，无机械磨损。
  • 测量行程：20 mm，适配门阀的开关行程范围。
  • 输出信号：0-10 V 模拟信号，适配控制器信号采集模块。
  • 测量精度：±0.05 mm，保障门阀位置检测精准。
  • 响应时间：≤20 ms，快速反馈门阀位置变化。
  • 工作温度：-20℃至 60℃，适应设备内部环境。
• 功能特点
  • 检测精度高，可精准判断门阀的全开、全关与中间位置，保障工艺腔体的真空与压力控制。
  • 无机械接触，使用寿命长，维护成本低。
  • 抗电磁干扰能力强，在设备复杂电磁环境下仍能稳定工作。
  • 安装便捷，适配多种门阀结构，无需复杂调整。
• 应用场景：用于 AMAT 的工艺腔体真空挡板阀、气体通路门阀等部件，适配蚀刻、沉积、离子注入等各类半导体工艺设备，保障门阀动作的精准控制。