• 产品名称：石英观察窗
• 产品简介：这是安装在半导体工艺腔体壁上的透明观察部件，用于在工艺过程中观察腔体内部晶圆状态与工艺进展，同时保障腔体的真空密封与耐等离子体侵蚀性能，适配 AMAT 多款 200mm 和 300mm 晶圆工艺腔体。
• 技术规格
  • 材质：高纯石英，透光率≥90%，耐等离子体与高温侵蚀。
  • 尺寸：直径 100 mm，厚度 10 mm，适配标准腔体观察孔。
  • 工作温度：-30℃至 800℃，适应工艺腔体的高低温工况。
  • 真空密封等级：可承受 10^-9 Torr 的高真空环境，密封性能优异。
  • 抗压强度：≥100 MPa，可承受大气压力与腔体压力差。
  • 表面处理：双面抛光，表面粗糙度 Ra≤0.05 μm，减少颗粒吸附。
• 功能特点
  • 透光性能好，清晰观察腔体内部工艺状态，便于操作人员监控与故障排查。
  • 耐等离子体与腐蚀性气体侵蚀，使用寿命长，减少更换频率。
  • 密封结构可靠，与腔体法兰配合紧密，无泄漏风险。
  • 安装拆卸便捷，便于定期清洁与更换，降低设备停机时间。
• 应用场景：用于 AMAT 的等离子体蚀刻、物理气相沉积、原子层沉积等工艺腔体，适配 200mm 和 300mm 晶圆的制造设备，为工艺监控提供可视化窗口。