• 产品名称：气体管路吹扫阀
• 产品简介：这是半导体设备气体输送系统中的关键部件，专门用于在更换工艺气体、设备维护时对气体管路进行吹扫，清除管路内残留的气体与杂质，避免不同气体交叉污染，适配 AMAT 的气体面板与管路系统。
• 技术规格
  • 阀门类型：两位两通电磁阀，开关动作迅速。
  • 通径尺寸：1/4 英寸，适配主流气体支路管路。
  • 工作压力：0.1 MPa - 1 MPa，适配气体输送与吹扫压力需求。
  • 工作介质：适配氮气、氩气等惰性吹扫气体。
  • 响应时间：≤50 ms，快速完成吹扫动作，提升维护效率。
  • 工作温度：-20℃至 80℃，适应设备工作环境。
  • 阀体材质：316L 不锈钢，密封件为全氟醚橡胶，耐腐蚀性强。
• 功能特点
  • 开关动作迅速，可快速开启与关闭吹扫通路，保障吹扫效果。
  • 密封性能优异，无内漏与外漏情况，避免吹扫气体泄漏与残留气体污染。
  • 耐腐蚀性强，可长期适配惰性吹扫气体与工艺环境。
  • 可通过设备控制系统实现自动吹扫，适配设备自动化维护流程。
• 应用场景：应用于 AMAT 的化学气相沉积、原子层沉积等设备的气体管路系统，用于更换工艺气体、设备停机维护时的管路吹扫，保障工艺气体纯度与产品良率。