• 产品名称：数字信号转换模块
• 产品简介：这是半导体设备控制系统中的信号处理核心部件，用于将设备各类传感器的模拟信号转换为数字信号，同时将控制器的数字控制信号转换为模拟信号输出，适配 AMAT 的设备主控系统，保障信号传输的精准与稳定。
• 技术规格
  • 模拟输入通道：8 路，适配温度、压力、流量等传感器信号。
  • 模拟输出通道：4 路，适配阀门、驱动器等执行部件控制。
  • 输入信号范围：0-10 V、4-20 mA，适配主流工业传感器输出。
  • 输出信号范围：0-10 V、4-20 mA，适配执行部件控制需求。
  • 转换精度：16 位，转换误差小于 ±0.01%，保障信号处理精准性。
  • 采样速率：100 Hz，快速捕捉信号变化，保障控制及时性。
  • 通信接口：RS485 接口，支持 Modbus 协议，便于与主控系统通信。
• 功能特点
  • 信号转换精度高，有效减少信号传输过程中的失真，保障控制精度。
  • 具备信号隔离功能，输入输出通道相互隔离，防止信号干扰与短路故障。
  • 支持热插拔，便于设备调试与维护，无需整机停机。
  • 具备自诊断功能，可实时监测模块运行状态，便于故障排查。
• 应用场景：应用于 AMAT 各类半导体设备的控制系统，适配温度、压力、流量等参数的采集与阀门、电机等部件的控制，保障蚀刻、沉积、清洗等工艺的稳定运行。