• 产品名称：直流高压电源模块
• 产品简介：这是一款专为半导体静电卡盘设计的高压供电部件，能够输出稳定的直流高压，为静电卡盘提供吸附晶圆所需的静电场，保障晶圆在工艺过程中的位置固定与温度均匀性，适配 AMAT 的 200mm 和 300mm 晶圆静电卡盘系统。
• 技术规格
  • 输出电压：0 V - 3000 V 直流，连续可调，适配不同工艺的吸附力需求。
  • 输出电流：最大 5 mA，满足静电卡盘的电流需求。
  • 电压稳定度：±0.1%，保障吸附力稳定，避免晶圆位移。
  • 工作效率：≥85%，能源转换效率高，减少设备能耗。
  • 工作电压：交流 220 V 输入，适配工业供电标准。
  • 保护功能：具备过压、过流、过热、短路等多重保护机制。
• 功能特点
  • 电压调节精度高，可通过设备控制系统实现远程精准调节。
  • 响应速度快，电压阶跃响应时间≤100 ms，快速完成晶圆吸附与释放。
  • 电磁兼容性强，符合工业 EMC 标准，避免干扰设备其他电气模块。
  • 模块化设计，体积小，安装维护便捷，适配设备电气柜布局。
• 应用场景：用于 AMAT 的等离子体蚀刻、化学气相沉积等设备的静电卡盘供电，适配 200mm 和 300mm 晶圆的工艺需求，保障晶圆在工艺过程中的稳定固定。