• 产品名称：气体输送管道组件
• 产品简介：这是半导体设备气体输送系统的核心连接部件，由 316L 不锈钢管道、卡套接头、弯头、三通等组成，用于工艺气体从气源到流量控制器、再到工艺腔体的输送，适配 AMAT 的高纯气体输送系统，保障气体传输的洁净与稳定。
• 技术规格
  • 管道材质：316L 不锈钢，内壁电解抛光，粗糙度 Ra≤0.2 μm，防止气体污染。
  • 管道外径：1/4 英寸，适配主流气体输送支路规格。
  • 工作压力：最高可达 10 bar，满足工艺气体输送压力要求。
  • 连接方式：双卡套接头，安装便捷，密封性能可靠。
  • 泄漏率：≤10^-9 atm・cm³/s，符合半导体高纯气体输送标准。
  • 适用气体：适配惰性气体、腐蚀性气体、反应性气体等各类工艺气体。
• 功能特点
  • 气体流道流畅，无死角，减少气体滞留，避免不同气体交叉污染。
  • 耐腐蚀性强，可长期适配各类工艺气体，无锈蚀与杂质产生。
  • 安装拆卸便捷，便于系统维护与气体管路改造。
  • 结构牢固，抗振动能力强，在设备运行过程中无松动与泄漏风险。
• 应用场景：应用于 AMAT 的化学气相沉积、原子层沉积等设备的气体输送系统，适配 200mm 和 300mm 晶圆工艺的气体传输需求。