AMAT 0020-87570

产品名称：晶圆传送机械臂支撑臂组件产品简介：该组件是 AMAT 晶圆传送系统的核心部件，用于连接机械臂驱动端与晶圆夹持端，实现晶圆在设备各腔室（如加载锁、工艺腔...