• 产品名称：晶圆传送机械臂支撑臂组件
• 产品简介：该组件是 AMAT 晶圆传送系统的核心部件，用于连接机械臂驱动端与晶圆夹持端，实现晶圆在设备各腔室（如加载锁、工艺腔、冷却腔）之间的平稳、精准传送，保障晶圆在传送过程中无损伤、无偏移，适配自动化晶圆制造流程。
• 技术规格
  • 适配晶圆尺寸：200mm/300mm
  • 材质：高强度轻质合金，表面抗腐蚀涂层处理
  • 传送精度：定位误差≤±0.02mm
  • 负载能力：最大负载 2kg
  • 工作环境：洁净室 Class 1 级别，温度 10-40℃，湿度 30%-70%
  • 适配机械臂类型：AMAT Robotic Arm 系列传送机械臂
• 功能特点
  • 轻量化设计，减少机械臂运动惯性，提升传送速度与定位精度。
  • 表面涂层具备抗静电、抗颗粒污染特性，避免晶圆表面污染。
  • 结构强度高，可长期承受晶圆传送的循环载荷，不易变形。
  • 快速连接设计，便于维护更换，减少设备停机时间。
• 应用场景：应用于 AMAT Centura、Endura 等半导体设备的晶圆传送系统，适配光刻、刻蚀、沉积等制程设备的晶圆自动传送环节，保障 300mm、200mm 晶圆在不同工艺模块间高效、安全传送，提升晶圆制造设备的自动化生产效率。