• 产品名称：低压电源模块（适配工艺腔室偏压电源）
• 产品简介：这是一款为 AMAT 半导体设备工艺腔室设计的低压电源模块，主要为工艺腔室的偏压电极、静电卡盘等部件提供稳定的低压直流电源，保障工艺过程中电场稳定，适配等离子体刻蚀、沉积等工艺对电源的精准控制需求。
• 技术规格
  • 输出电压：0-100VDC
  • 输出电流：0-5A
  • 电压精度：±1%
  • 纹波系数：≤0.5%
  • 工作电压：220VAC±10%，50/60Hz
  • 工作温度：0-40℃
  • 通信接口：RS485，支持设备主控制器远程监控
• 功能特点
  • 输出电压与电流连续可调，适配不同工艺对偏压的差异化需求。
  • 具备过压、过流、短路保护功能，保障电源模块与设备安全。
  • 低纹波输出，减少电源波动对等离子体稳定性的影响。
  • 支持远程监控与参数配置，适配半导体设备自动化控制流程。
• 应用场景：广泛应用于 AMAT 刻蚀机、PECVD 沉积设备等半导体工艺设备的工艺腔室，为晶圆刻蚀、薄膜沉积过程中电极偏压提供稳定电源，适配逻辑芯片、存储芯片制造中的多种等离子体工艺，保障工艺均匀性与晶圆良率。