• 产品名称：DIP 系列 360° 旋转晶圆定位传感器
• 产品简介：该传感器是 AMAT DIP 系列的 360° 旋转晶圆定位装置，用于晶圆传送过程中的实时定位与角度校准，通过 360° 全方位检测晶圆边缘与缺口位置，为机械臂传送提供精准位置反馈，保障晶圆与工艺腔室、夹具的精准对接。
• 技术规格
  • 检测晶圆尺寸：200mm/300mm
  • 检测方式：光学扫描 + 边缘轮廓识别
  • 定位精度：角度误差≤±0.1°，位置误差≤±0.01mm
  • 响应时间：≤10ms
  • 工作电压：24VDC
  • 输出信号：数字量位置信号 + 报警信号
  • 防护等级：IP54
• 功能特点
  • 360° 无死角检测，适配不同缺口方向的晶圆，兼容性强。
  • 抗环境光干扰能力强，适配洁净室复杂光照环境。
  • 具备晶圆存在 / 缺失、位置异常等报警功能，保障传送安全。
  • 检测数据实时传输，适配设备闭环控制系统，提升定位效率。
• 应用场景：适配 AMAT 晶圆传送系统、自动化物料搬运设备，应用于 200mm、300mm 晶圆制造的加载锁腔室、工艺腔室入口等位置，用于晶圆传送前的定位校准，广泛应用于刻蚀、沉积、光刻等设备的晶圆自动化上料环节，减少晶圆传送错误，提升设备运行效率。