• 产品名称：设备安全联锁模块
• 产品简介：这是 AMAT 设备的核心安全部件，用于监测设备各关键部位（如腔室门、气体管路、电源模块）的联锁状态，当设备出现异常（如腔室门未关、气体泄漏）时，快速触发联锁保护，切断相关电源与工艺气体供应，防止设备损坏与人员安全事故，保障半导体设备安全运行。
• 技术规格
  • 输入通道：16 路安全联锁信号输入
  • 输出通道：8 路联锁保护信号输出
  • 工作电压：24VDC
  • 响应时间：≤20ms
  • 安全等级：SIL 2 级
  • 通信接口：DeviceNet，支持设备主控制器通信
  • 工作温度：-10℃至 50℃
• 功能特点
  • 实时监测设备多部位联锁状态，保障安全信号无延迟传输。
  • 具备故障自诊断功能，可记录故障位置与类型，便于快速排查。
  • 支持手动 / 自动联锁切换，适配设备维护与正常运行两种状态。
  • 符合半导体设备安全标准，适配严苛的安全生产要求。
• 应用场景：适配 AMAT Centura、Probe 等全系列半导体设备，安装于设备控制柜内，用于刻蚀、沉积、清洗等设备的安全保护，监测腔室密封、气体泄漏、高压电源等关键环节，保障设备在研发、生产过程中的安全运行，降低安全事故风险。