• 产品名称：设备冷却系统压力传感器
• 产品简介：该型号是 AMAT 设备冷却系统专用的压力传感器，用于实时监测冷却回路内的流体压力，为设备冷却系统的稳定运行提供数据支撑，防止因压力异常导致的设备过热、部件损坏等故障，保障半导体设备长时间连续运行。
• 技术规格
  • 测量范围：0-1.6MPa
  • 输出信号：4-20mA 模拟信号
  • 供电电压：24VDC
  • 测量介质：半导体设备专用冷却剂（去离子水、乙二醇混合液等）
  • 防护等级：IP65
  • 响应时间：≤50ms
  • 精度：±0.5% FS
• 功能特点
  • 实时精准监测冷却系统压力，数据传输稳定，保障系统状态可追溯。
  • 具备过压报警功能，当压力超出设定阈值时，快速触发设备保护机制。
  • 适配半导体设备严苛的工作环境，抗电磁干扰能力强。
  • 安装方式灵活，可直接接入冷却回路，适配多种管径接口。
• 应用场景：适配 AMAT 刻蚀、沉积、离子注入等各类半导体设备的冷却系统，用于监测工艺模块、电源模块、真空系统等关键部件的冷却回路压力，广泛应用于 300mm、200mm 晶圆制造设备，保障设备在高负荷运行下的热管理，降低因过热导致的停机风险。