• 产品名称：聚焦石英环（WEST COAST QUARTZ 品牌）
• 产品简介：这是一款用于半导体工艺设备的聚焦石英环，由 WEST COAST QUARTZ 生产，适配 AMAT 相关设备的工艺腔室，主要作用是聚焦能量、隔离工艺区域与其他部件，减少能量损耗与部件污染，是保障等离子体工艺精准实施的关键耗材类部件。
• 技术规格
  • 材质：高纯石英，纯度≥99.999%
  • 功能定位：工艺能量聚焦、区域隔离
  • 工作压力：适配真空环境（10⁻³ 至 10⁻⁹Torr）
  • 耐温性能：长期耐受 800℃高温，短期耐受 1000℃以上工艺冲击
  • 适配接口：适配 AMAT 对应型号工艺腔室的标准安装位
• 功能特点
  • 高纯石英材质保障工艺洁净度，避免杂质污染晶圆与工艺环境。
  • 优异的能量聚焦性能，提升等离子体能量利用率，增强工艺效果。
  • 耐高温与抗等离子体侵蚀，适配刻蚀、沉积等多种等离子体工艺。
  • 尺寸精度高，安装后密封性强，防止工艺气体泄漏与腔室压力异常。
• 应用场景：适配 AMAT 刻蚀、沉积等等离子体工艺设备，尤其适用于需要精准能量聚焦的工艺环节，如高密度等离子体刻蚀、PECVD 沉积等，用于逻辑芯片、功率器件制造的工艺腔室中，保障工艺稳定性与晶圆制程良率。