AMAT 0020-09999

产品名称：工艺腔室石英内衬产品简介：该部件是 AMAT 工艺腔室的核心内衬件，安装于腔室内壁，起到隔离工艺等离子体与腔室金属本体的作用，防止腔室金属被等离子体刻...