AMAT 0200-35223

产品名称：等离子体工艺腔室陶瓷聚焦环产品简介：专为半导体刻蚀与沉积设备设计的高精度陶瓷绝缘定位部件，用于约束等离子体分布、保护腔室内部结构并保证晶圆工艺均匀性。...