AMAT 0021-26276

产品名称：工艺腔室上屏蔽罩组件产品简介：应用于半导体等离子体工艺腔室的金属防护部件，用于屏蔽射频电场、均匀化等离子体分布、保护腔室顶部结构，降低工艺污染风险。技...