AMAT 0200-23278

产品名称：陶瓷工艺腔室内衬环产品简介：高纯度陶瓷材质的腔室保护部件，用于隔离等离子体与金属腔壁，减少腔室污染、提升工艺均匀性，延长腔室维护周期。技术规格材质：高...