AMAT 0100-00472

产品名称：静电卡盘（ESC）电源模块产品简介：为半导体工艺腔室静电卡盘提供专用供电的模块，保障静电卡盘稳定吸附晶圆、精准控温，提升工艺均匀性与晶圆夹持可靠性。技...