产品名称：静电卡盘（ESC）电源模块产品简介：为半导体工艺腔室静电卡盘提供专用供电的模块，保障静电卡盘稳定吸附晶圆、精准控温，提升工艺均匀性与晶圆夹持可靠性。技术规格
- 输出类型：高压直流输出，适配静电吸附需求
- 控制模式：电压 / 电流闭环控制，可调范围广
- 保护功能：过压、过流、短路多重保护
- 通信接口：支持设备总线控制，实现联动控制
- 适配：300mm 晶圆双区 / 单区静电卡盘功能特点
- 输出稳定，无纹波，保障吸附力均匀
- 快速充放电，提升设备产能
- 温控联动，保障晶圆温度均匀性
- 抗干扰能力强，适配复杂工艺环境
- 模块化设计，便于安装与故障排查应用场景
- 高端刻蚀、沉积工艺腔室静电卡盘供电
- 先进制程半导体制造晶圆夹持系统
- 高精度温控工艺环节供电
- 半导体设备静电卡盘系统升级
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 