产品名称：真空腔室角阀总成产品简介：半导体真空系统的关键阀门部件，用于真空管路的通断控制，保障腔室真空环境的建立与维持，适配高真空与腐蚀性气体环境。技术规格
- 阀门类型：气动 / 电动角座阀，密封可靠
- 密封材质：氟橡胶 / 金属密封，适配高真空
- 连接口径：KF/NW 标准真空接口
- 工作压力：适配高真空至正压工况
- 响应时间：开关响应速度快，动作精准功能特点
- 密封性能优异，无真空泄漏
- 耐腐蚀，适配多种工艺气体
- 使用寿命长，维护周期长
- 支持远程自动控制，适配自动化生产线
- 结构紧凑，安装空间占用小应用场景
- 半导体工艺腔室真空通断控制
- 真空排气系统管路控制
- 沉积、刻蚀、清洗设备真空系统
- 晶圆厂真空管路系统维护更换
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 