产品名称:射频传输线缆组件产品简介:用于半导体等离子体设备的射频功率传输部件,负责将射频电源能量高效传输至工艺腔室,保障等离子体激发与工艺稳定性。技术规格
- 频率适配:13.56MHz/2MHz 标准射频频率
- 阻抗匹配:50Ω 标准阻抗,传输损耗低
- 材质:高纯铜芯 + 屏蔽层,抗干扰能力强
- 接头类型:N 型 / 7/16 型射频标准接头
- 长度:适配设备标准安装尺寸功能特点
- 射频能量传输效率高,损耗极小
- 屏蔽效果优异,无电磁辐射泄漏
- 耐高温、耐化学腐蚀,适应恶劣工艺环境
- 接头连接牢固,接触电阻低
- 柔韧性好,安装布线便捷应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD 设备射频传输
- 半导体射频电源与匹配网络连接
- 先进制程半导体设备射频系统
- 设备射频部件维护与更换




AMAT 0200-09761
AMAT 0200-08347
AMAT 0200-00262
AMAT 0190-36349