产品名称：射频匹配网络腔体组件产品简介：半导体射频等离子体系统的核心匹配部件，用于实现射频电源与工艺腔室负载的阻抗匹配，最大化射频能量耦合效率，保障工艺稳定性。技术规格
- 适配频率：13.56MHz/2MHz 双频兼容
- 匹配范围：宽范围阻抗匹配，适配多变负载
- 调节方式：自动 / 手动可调，匹配速度快
- 材质：铝合金腔体，表面导电处理
- 防护：内置过功率、过热保护功能特点
- 阻抗匹配速度快，反射功率极低
- 能量耦合效率高，提升工艺均匀性
- 抗干扰能力强，适应复杂工艺环境
- 结构坚固，散热性能优良
- 支持远程监控与故障诊断应用场景
- 等离子体刻蚀、沉积设备射频匹配
- 半导体射频电源系统核心部件
- 先进制程半导体制造工艺
- 设备射频系统升级与故障替换
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 