产品名称：气体质量流量控制器（MFC）产品简介：半导体工艺气体输送系统的核心控制部件，用于精准控制工艺气体的流量，保障沉积、刻蚀等工艺的气体配比精准性与稳定性。技术规格
- 控制类型：热式 / 层流式质量流量控制
- 流量范围：适配多种工艺气体标准流量区间
- 控制精度：流量控制精度高，响应速度快
- 材质：316L 不锈钢 / 高纯 PFA，耐腐蚀
- 接口：VCR/VCO 面密封，无泄漏功能特点
- 流量控制线性度好，稳定性强
- 适配多种腐蚀性、易燃性工艺气体
- 无死角设计，易吹扫、低气体残留
- 支持远程控制与自动校准
- 具备超流量、超温保护功能应用场景
- 半导体 CVD、ALD、刻蚀工艺气体控制
- 高纯特种气体输送与分配系统
- 晶圆厂工艺气体精准配比控制
- 半导体设备气路系统升级维护
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 