产品名称：气体喷淋头组件产品简介：安装于工艺腔室顶部的气体均匀分布部件，通过精密微孔阵列将工艺气体均匀喷射至晶圆表面，提升制程均匀性。技术规格
- 材质：高纯铝合金 / 阳极氧化铝
- 微孔直径：0.6～1.2mm
- 气体分布均匀性：＜±2%
- 耐压：最大 10bar
- 生产环境：Class 10 洁净室功能特点
- 气体分布高度均匀，提升晶圆片内均匀性
- 流道无死角，不易积尘、易清洁
- 耐工艺气体腐蚀，适用多种前驱体气体
- 压力损失小，响应速度快
- 标准化接口，更换便捷应用场景
- CVD、PECVD、ALD 薄膜沉积设备
- 干法刻蚀工艺气体均匀供给
- 氧化、扩散、退火工艺腔室
- 先进制程均匀性控制核心部件
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 