产品名称：电容式真空压力传感器产品简介：基于电容传感原理的高精度真空测量器件，用于腔室与管路真空度监测，抗腐蚀、稳定性强、长期可靠性高。技术规格
- 量程：1×10⁻⁵ Torr～100 Torr
- 精度：±0.25% F.S.
- 输出信号：0–10V / 4–20mA
- 响应时间：＜50ms
- 接触材质：316L 不锈钢、陶瓷、FFKM 密封功能特点
- 测量结果不受气体种类影响
- 耐受强腐蚀性工艺气体环境
- 年漂移＜0.05% F.S.，可靠性极高
- 抗振动、抗电磁干扰
- 标准接口，即插即用应用场景
- 刻蚀、PVD、CVD、ALD 腔室真空监测
- 真空机组、前级泵、管路压力控制
- 超高真空系统闭环控制
- 半导体生产线设备状态监控
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 