产品名称：高精度流量检测传感器产品简介：用于半导体工艺气体管路的流量监测元件，实时采集气体流量信号并反馈至控制系统，保障工艺气体配比稳定。技术规格
- 适用介质：惰性气体与常规工艺气体
- 流量范围：0～500 SCCM～10 SLM
- 精度：±0.5% F.S.
- 响应时间：＜100ms
- 接触材质：316L 不锈钢功能特点
- 测量稳定，重复性高
- 快速响应，满足动态工艺控制需求
- 抗污染、抗冷凝、长期漂移小
- 结构紧凑，适合狭小空间安装
- 标准信号输出，易于系统集成应用场景
- 气体分配系统、气体柜流量监控
- PECVD、ALD、刻蚀工艺气体控制
- 半导体制程气体输送系统
- 设备预防性维护与故障诊断
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 