产品名称：腔室密封压环组件产品简介：用于真空腔室法兰与密封件之间的压紧定位结构，保证密封均匀受力，维持腔室超高真空密闭性。技术规格
- 材质：高强度铝合金 / 不锈钢
- 表面处理：精密抛光 + 阳极氧化
- 平整度：＜0.05mm
- 适用温度：-40℃～320℃
- 配合密封形式：全氟醚 O 型圈密封功能特点
- 受力均匀，避免密封件局部挤压损伤
- 定位精准，防止装配偏移导致泄漏
- 高强度、不变形、耐高温
- 拆装便捷，维护成本低
- 无颗粒释放，符合洁净室要求应用场景
- 刻蚀、沉积、离子注入设备腔室密封
- 真空法兰、观察窗、顶盖压紧固定
- 超高真空系统密封结构
- 半导体设备腔室维护更换件
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 