产品名称：数字信号输入输出模块产品简介：半导体设备控制系统的数字量信号转接与驱动模块，负责设备各单元开关量信号采集与执行机构控制。技术规格
- 输入类型：24V 直流数字信号
- 输出类型：光电隔离数字输出
- 通道数：多通道集成
- 隔离电压：＞2500V
- 工作温度：0～50℃功能特点
- 光电隔离，抗干扰能力强
- 信号响应快速，无延迟
- 高稳定性，适配工业级连续运行
- 支持热插拔与在线维护
- 与主流设备控制器兼容应用场景
- 半导体设备阀件、传感器、执行器控制
- 真空、气体、温控系统逻辑控制
- 设备互锁、报警、状态监测
- 自动化生产线 I/O 信号扩展
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT 0041-76691 