产品名称：真空波纹管组件产品简介：用于真空系统管路柔性连接与位移补偿的波纹管部件，提供高密封性、柔韧性与结构稳定性，适配超高真空工况。技术规格
- 材质：316L 电解抛光不锈钢
- 伸缩行程：±25mm
- 适用真空度：＜1×10⁻⁹ Torr
- 检漏等级：＜1×10⁻¹⁰ atm・cc/s
- 耐温范围：-196℃～250℃功能特点
- 超高真空密封性能，长期无泄漏
- 柔韧性强，可补偿轴向、径向、角向安装偏差
- 耐腐蚀、耐振动、耐冷热冲击
- 内壁光滑无死角，不易积尘、易清洁
- 循环寿命长，适用于高频次运动环境应用场景
- 真空分子泵、干泵柔性连接
- 工艺腔室、传输腔室真空管路
- 晶圆升降机构、顶针组件动密封部位
- 半导体设备超高真空管路系统
AMAT 0010-09395 
AMAT 6C50SHCS 
AMAT DIP-510-005 
AMAT 0041-76691 