AMAT 0270-90163

产品名称：射频匹配网络腔体组件产品简介：半导体射频等离子体系统的核心匹配部件，用于实现射频电源与工艺腔室负载的阻抗匹配，最大化射频能量耦合效率，保障工艺稳定性。...