AMAT BLSI7080

产品名称：真空腔室泄漏检测传感器模块产品简介：半导体真空系统专用的高精度泄漏监测部件，实时检测腔室及真空管路的微小泄漏，保障真空环境稳定性，避免工艺污染与设备故...