产品名称：真空腔室泄漏检测传感器模块产品简介：半导体真空系统专用的高精度泄漏监测部件，实时检测腔室及真空管路的微小泄漏，保障真空环境稳定性，避免工艺污染与设备故障。技术规格
- 检测原理：氦质谱 / 压力衰减法，检测灵敏度极高
- 检测范围：覆盖微小泄漏至明显泄漏全区间
- 响应时间：泄漏检测响应迅速，实时预警
- 输出信号：标准数字 / 模拟信号，适配设备控制系统
- 工作环境：适配高真空、腐蚀性工艺气体环境功能特点
- 检测精度高，可捕捉极微小泄漏点
- 抗干扰能力强，信号输出稳定无漂移
- 具备自诊断功能，异常状态自动报警
- 支持远程监控与数据记录，便于故障追溯
- 安装便捷，适配多种真空腔室与管路接口应用场景
- 半导体工艺腔室真空泄漏实时监测
- 真空排气系统与管路泄漏检测
- 沉积、刻蚀、离子注入设备真空安全监控
- 晶圆厂真空系统维护与故障排查
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 