产品名称：腔室温度传感器组件产品简介：用于半导体工艺腔室的高精度温度监测部件，实时采集腔室内部、加热器及晶圆承载台温度数据，为工艺温控提供精准反馈，保障工艺温度均匀性。技术规格
- 测温范围：覆盖低温至高温工艺全区间
- 测温精度：全量程高精度测量，误差极小
- 传感器类型：热电偶 / 铂电阻，适配不同工艺环境
- 安装方式：嵌入式 / 表面贴装，密封可靠
- 防护等级：耐高温、耐腐蚀，适配工艺气体环境功能特点
- 测温响应速度快，数据采集实时稳定
- 长期稳定性好，校准周期长
- 密封性能优异，无真空泄漏风险
- 信号输出无干扰，适配复杂工业环境
- 支持多测点同步监测，保障温度均匀性应用场景
- 半导体工艺腔室温度实时监测与控制
- 加热器、静电卡盘温度监控
- 沉积、刻蚀、退火工艺温度保障
- 晶圆厂设备温控系统维护
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 