产品名称：真空角座阀驱动模块产品简介：半导体真空系统阀门的专用驱动控制单元，为真空角阀提供精准动力输出，实现阀门快速、稳定的开关控制，保障真空系统通断可靠性。技术规格
- 驱动类型：气动 / 电动驱动，适配不同阀门类型
- 控制方式：远程自动控制 / 本地手动控制双模式
- 响应时间：阀门开关响应迅速，动作精准
- 防护等级：适配高真空、腐蚀性气体环境
- 接口类型：标准电气 / 气动接口，安装便捷功能特点
- 驱动力稳定，阀门开关无卡顿、无泄漏
- 具备过载保护，避免阀门损坏
- 支持状态反馈，实时监测阀门开关状态
- 抗干扰能力强，适配复杂工业环境
- 模块化设计，便于安装与故障排查应用场景
- 半导体工艺腔室真空阀门驱动控制
- 真空排气系统管路阀门控制
- 沉积、刻蚀、清洗设备真空系统
- 晶圆厂真空管路系统维护更换
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 