产品名称：气体管路过滤器总成产品简介：半导体工艺气体输送系统的净化部件，用于过滤工艺气体中的微颗粒、杂质，保障气体纯度，避免晶圆污染与工艺缺陷。技术规格
- 过滤精度：高精度微颗粒过滤，满足高纯气体要求
- 材质：316L 不锈钢 / 高纯 PFA，耐腐蚀
- 接口类型：VCR/VCO 面密封，无泄漏
- 耐压范围：适配工艺气体输送压力要求
- 更换周期：长寿命设计，降低维护频率功能特点
- 过滤效率高，有效去除微颗粒杂质
- 流阻小，气体输送压力损失低
- 耐腐蚀，适配多种腐蚀性工艺气体
- 无死角设计，易吹扫、低气体残留
- 安装便捷，与原厂管路系统完全兼容应用场景
- 半导体 CVD、ALD、刻蚀工艺气体净化
- 高纯特种气体输送系统过滤
- 晶圆厂工艺气体管路维护升级
- 半导体设备气路系统核心部件
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 