产品名称：气体质量流量控制器表头模块产品简介：气体质量流量控制器（MFC）的核心显示与控制单元，负责流量数据采集、显示与调节，保障工艺气体流量控制精准性与稳定性。技术规格
- 显示类型：高清数字显示，流量数据直观可读
- 控制模式：本地手动调节 / 远程自动控制双模式
- 通信接口：支持设备总线通信，实现联动控制
- 精度：流量控制精度高，响应速度快
- 适配：兼容多种型号气体质量流量控制器功能特点
- 流量数据显示精准，无误差
- 调节操作便捷，支持快速流量设定
- 具备超流量报警功能，保障工艺安全
- 抗干扰能力强，适配复杂工业环境
- 模块化设计，便于 MFC 维护与升级应用场景
- 半导体工艺气体质量流量控制
- CVD、ALD、刻蚀设备气体流量调节
- 高纯特种气体输送系统控制
- 半导体设备气路系统维护
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 