产品名称：射频电源控制板卡产品简介：半导体射频等离子体设备的核心控制部件，负责射频电源的功率输出、频率调节与状态监控，保障射频能量稳定输出，提升工艺均匀性。技术规格
- 适配频率：13.56MHz/2MHz 标准射频频率
- 控制范围：宽范围功率输出调节
- 通信接口：支持设备总线控制，实现远程监控
- 保护功能：过压、过流、过热多重保护
- 适配：兼容 AMAT 标准射频电源模块功能特点
- 功率输出稳定，无波动、无漂移
- 调节响应速度快，保障工艺稳定性
- 具备故障诊断功能，异常状态自动报警
- 抗干扰能力强，适配复杂工艺环境
- 板卡集成度高，安装调试便捷应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD 设备射频电源控制
- 半导体射频电源系统核心部件
- 先进制程半导体制造工艺
- 设备射频系统升级与故障替换
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 