产品名称：工艺腔室陶瓷绝缘环产品简介：高纯度陶瓷材质的腔室绝缘部件，用于隔离腔室金属部件与等离子体，防止异常放电，保障工艺稳定性，同时降低腔室污染风险。技术规格
- 材质：高纯度氧化铝 / 氮化铝陶瓷
- 尺寸：适配 300mm 晶圆工艺腔室标准口径
- 绝缘性能：高电阻率，绝缘效果优异
- 表面精度：精密抛光，无划痕、无颗粒
- 适配：兼容 Centura、Endura 系列设备腔室功能特点
- 耐等离子体腐蚀，抗化学侵蚀能力强
- 低释气、高洁净度，保障晶圆良率
- 热稳定性好，适应高温工艺环境
- 几何精度高，安装定位精准
- 与原厂尺寸完全兼容，替换便捷应用场景
- 干法刻蚀工艺腔室
- 高密度等离子体化学气相沉积（HDPCVD）设备
- 先进逻辑与存储芯片制造工艺
- 半导体设备核心易损件更换
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 