产品名称：设备安全联锁模块产品简介：半导体设备的安全控制核心部件，负责监测设备门、腔室、急停等安全状态，实现安全联锁控制，保障操作人员与设备安全，避免工艺事故。技术规格
- 监测类型：门开关、腔室压力、急停按钮等多状态监测
- 控制逻辑：多重安全联锁逻辑，保障安全可靠
- 输出类型：安全继电器输出，适配设备控制系统
- 响应时间：安全状态异常响应迅速，立即联锁
- 防护等级：适配工业级复杂环境功能特点
- 监测全面，覆盖设备核心安全环节
- 联锁逻辑严谨，无安全漏洞
- 具备状态反馈，实时显示安全状态
- 抗干扰能力强，保障联锁可靠性
- 模块化设计，便于安装与维护应用场景
- 半导体工艺设备安全联锁控制
- 晶圆厂设备安全系统核心部件
- 沉积、刻蚀、传输设备安全保障
- 设备安全系统升级与故障替换
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 