产品名称：高真空密封 O 型圈总成产品简介：半导体真空系统专用的高性能密封部件，采用特种耐腐蚀材质，用于腔室、阀门、管路等接口密封，保障高真空环境无泄漏，适配严苛工艺环境。技术规格
- 材质：Kalrez / 全氟醚橡胶，耐高温、耐腐蚀
- 规格：适配标准真空接口尺寸
- 密封性能：高真空级密封，无泄漏
- 工作温度：覆盖宽范围工艺温度区间
- 使用寿命：长寿命设计，降低更换频率功能特点
- 密封性能优异，适配高真空至超高真空环境
- 耐化学腐蚀，适配多种工艺气体
- 耐高温，适应高温工艺环节
- 弹性好，安装便捷，密封可靠
- 无释气、无颗粒，满足高洁净要求应用场景
- 半导体工艺腔室接口密封
- 真空阀门、管路密封
- 沉积、刻蚀、离子注入设备真空密封
- 晶圆厂真空系统维护更换
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 