AMAT 0100-02409

产品名称：腔室温度传感器组件产品简介：用于半导体工艺腔室的高精度温度监测部件，实时采集腔室内部、加热器及晶圆承载台温度数据，为工艺温控提供精准反馈，保障工艺温度...