AMAT 0200-18082

产品名称：工艺腔室陶瓷绝缘环产品简介：高纯度陶瓷材质的腔室绝缘部件，用于隔离腔室金属部件与等离子体，防止异常放电，保障工艺稳定性，同时降低腔室污染风险。技术规格...