AMAT 0240-71275

产品名称：工艺腔室气体分配器总成产品简介：半导体工艺腔室的气体均匀分配部件，将多路工艺气体精准、均匀地输送至腔室内部，保障晶圆表面气体分布均匀，提升工艺均匀性与...