AMAT 0021-21984

产品名称：晶圆承载台陶瓷组件产品简介：半导体工艺腔室中晶圆承载与定位的核心部件，采用高纯度陶瓷材质，具备优异的绝缘、耐热与抗腐蚀性能，保障晶圆在工艺过程中的稳定...